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行業(yè)動態(tài)

空氣潔凈技術的昨天今天明天

信息來源:上海新銳過濾材料有限公司  發(fā)布時間:[2016-01-13]

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空氣潔凈技術的昨天今天明天

 


    空氣潔凈技術是二次世界大戰(zhàn)后才開始形成和發(fā)展起來的環(huán)境工程技術。目前在加工、宇航工業(yè)、微電子工業(yè)等眾多工業(yè)領域得到廣泛應用,并以更加迅猛的發(fā)展趨勢擴展到醫(yī)療、制藥、食品、化妝品、無菌培植、遺傳工程等生物潔凈技術領域。

    二戰(zhàn)前的加工業(yè)其只在微米級水平上,尚無控制塵埃污染的要求。隨著生產水平的提高,首先是軍事工業(yè)和微加工技術對空氣中塵埃粒徑的控制要求提到了亞微米級別。對塵埃與產品質量間的關系有了量的概念

    于50年代初結合曼哈頓研究計劃,美國宇航工業(yè)率先研制成功第一臺高效能塵埃粒子過濾器開始,又建成世界第一個高級別平行流空氣潔凈室,保證了60年代微加工業(yè)順利地跨了亞微米級外,使膠片的解相力每毫米寬度能記錄下可分辯的單線條數(shù)發(fā)展到全息干版3000條線。而70年代開始出現(xiàn)的超大規(guī)模集成電路,其掩膜厚度已達到十分之幾到百分之幾微米,電器元件之間的金屬聯(lián)線之寬度一光刻基本圖形尺寸,小達到0.01微米。一顆塵埃,即使小到0.01微米也能使大規(guī)模集成電路片形成針孔或電路切斷、短路等事故而報廢。微電子工業(yè)從一九七五年動態(tài)隨機存儲器DRAM 16K到一九九八年的256K,平均每三年容量增加五倍,今后對小塵埃粒徑從目前的0.1微米控制技術還要低一至二個數(shù)量級。

    與上述空氣潔凈技術在深度上不斷發(fā)展的同時,在生物凈化領域得到了更廣泛的應用,成為今后主要發(fā)展方向和擴展的應用領域。

 

 

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